国产成人精品亚洲av无人区一区-国产成人精品亚洲观看一区五月天-国产成人精品亚洲精品-国产成人精品亚洲精品日日-国产成人精品亚洲男人的天堂-国产成人精品亚洲日

真空泵機組的最頂圖片
 
真空泵機組
  水環羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJ2B型水環羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJ2S型水環羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJ2BA型水環羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJS型水環羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJFS型耐腐蝕水環羅茨真空泵機組
 
  旋片羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZPX型旋片羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJ2X型旋片羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJX型旋片羅茨真空泵機組
 
  滑閥羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJH型滑閥羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJPH((2H30)滑閥羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJPH(H-150)滑閥羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJPH(2H70A)滑閥羅茨真空泵機組
 
  水噴射羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 LSJ型水噴射羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 2LSJ型二級水噴射羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 LQSJ型汽水串聯羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 F3LSJ型三羅茨水噴射真空泵機組
 
真空泵機組 RPP型全塑料水噴射真空泵機組
 
真空泵機組 FPSWJ型防腐型水噴射真空泵機組
 
  往復式羅茨真空泵機組
 
真空泵機組 JZJWLW型羅茨往復真空泵機組
 
真空泵機組 JZJW型羅茨往復真空泵機組
 
  工藝類真空泵機組
 
真空泵機組 變壓器油真空處理及注油設備
 
真空泵機組 環氧樹脂真空澆注設備
 
真空泵機組 飛機風洞試驗真空泵機組
 
真空泵機組 油脂行業米糠油物理精煉真空泵機組
 
真空泵機組 油脂行業脫臭真空泵機組
 
真空泵機組 減壓蒸餾裝置中的羅茨真空機組
真空泵機組 真空機組在真空感應爐的應用
真空泵機組 真空機組在分子蒸餾技術中的應用
 
   
真空泵機組
電 話: 021-59775595
  021-59775535
  021-59775509
  021-51863849
傳 真: 021-60911446
地 址: 上海市青浦區民興大道358號
Q Q: 400-6064-114
網 址: m.zjpkw.cn
真空泵機組 真空泵機組
 
輔助PECVD的磁場模仿劃算與綜合

輔助PECVD的磁場模仿劃算與綜合
   白文說明了磁場輔助PECVD作業原理,磁場對沉積地膜的莫須有。經過對PECVD中磁場對帶電粒子的束縛作用、等離子體體能量轉換效率綜合,構建輔助磁場模子齊頭并進行數值劃算。在現有輔助磁場根底上改良設計實用于PECVD設施的螺線管磁場零碎,失去相反物理條件下磁場散布法則。進而確定螺線管構造參數失去勻稱散布的磁場,為輔助PECVD磁場的利用提供了一種步驟。
   等離子體體加強化學氣相沉積作為一種傳統的制膜技能,兼備了化學氣相沉積和等離子體體高活化能、低反響熱度的長處。但在制備光、電地膜上面,PECVD技能還存在著一些亟待克服的問題,如失去的地膜電阻率較高,阻值散布不均,名義晶粒尺寸較大,粒子間間隙大,該署問題重大莫須有了地膜的性能。眼前,在重要鉆研了沉積熱度、電源功率、氣體流量等參數對地膜的莫須有之后,又鉆研了磁場平等離子體的束縛及在地膜沉積中的作用,試驗后果表明磁場輔助PECVD沉積地膜,對地膜的勻稱性,沉積速率以及電學性能都有顯著的普及。
   篇章形容了磁場在PECVD中制備地膜的作用,綜合等離子體體在正交電磁場中的靜止特點。依據螺線管磁場特點,構建輔助磁場模子齊頭并進行數值劃算,對PECVD輔助磁場零碎繼續改良,失去勻稱磁場,并對產生磁場散布作了進一步模仿綜合。1、PECVD作業原理
   等離子體體的產生步驟有很多種,比方二級直流輝光尖端放電,射頻輝光尖端放電,微波激起等離子體體等。白文所鉆研的是庫容嚙合射頻PECVD,其原理為在低氣壓下,反響氣體受到射頻電源的激起,產生水解并構成由帶電的電子和離子組成的等離子體體,反響腔體中的氣體在電子的撞擊下,除非轉變成離子外,還吸引能量并構成一大批的活性基團;該署活性基團和等離子體體,電勢高于反響腔體中接地電極電勢,將被沉積在接地電極上的基片名義,構成性能地膜。沉積相反的地膜須要相反的反響氣體,產生的等離子體體成份也有很大差異。2、輔助PECVD磁場模仿劃算與綜合
2.1磁場輔助PECVD原理
   文獻簡報了磁場平等離子體莫須有的試驗后果。試驗中發現磁場能在定然水平上莫須有等離子體體中粒子之間的碰撞內中,以及莫須有帶電粒子的靜止和空間地位。沿磁感應強度矢量位置的等離子體體特點,與非磁化等離子體體的特點相反,因而強加與磁場位置平行的磁場簡直不起作用,曾有人設計試驗安裝強加了與磁場位置垂直即與電極板平行的勻強磁場,如圖1所示。
圖1磁場輔助PECVD零碎構造示用意
   該安裝為磁場輔助等離子體體加強化學氣相沉積零碎,射頻源為SY500W射頻功率源和SP-II型功率匹配重,等離子體體的激起效率為13.56MHz。高低極板的面積均為:300mm×150mm,兩電極板之間的間隔為25mm。為了失掉較工業氣壓強運用了一臺分子泵和一臺旋片泵組成的真空零碎。圓筒型反響露天部為容性呆滯電極,產生垂直于極板的交變磁場,內部纏繞電鉆線圈產生與呆滯平行即與磁場垂直的磁場。正交電磁場如圖2所示。
圖2正交電磁場中的磁化等離子體體
   在圖2正交電磁場中,帶電粒子做拉莫爾靜止(Larmormovement)。因為電子荷質比e/m=-1.75881962×1011庫侖/千克,比單價氫離子的荷質比約大2000倍,因而電子在兩電極間做通體振蕩,而離子因為品質很大振幅很小,因而沒有強烈的振蕩,絕對電子的振蕩,能夠覺得離子根本不動。在磁場的束縛下,電子在電極板間的往返靜止,變為電鉆回轉靜止,行程大大增多從而增大了與中性粒子的碰撞效率,增大了等離子體體密度。即活性粒子密度增大,同聲加強了等離子體體的化學活性,從而加強等離子體體中反響物質的化學反響。所以存在定然能量的離子密度的增多,加強了黏附原子團在名義的遷徙威力,從而產生名義缺點并改觀名義化學性質,增進名義的化學反響和放散,同聲經過產生結晶體的缺點、吸附“激活”的物質、注入高能的轟擊物質、產生電子尖端放電地位和名義粒子的反照注入等形式來增進形核點的增多,那樣就招致了地膜沉積速率增大。另外電子的盤旋震蕩靜止增大與中性氣體的碰撞多少率,因而在較低的氣壓下也能使氣體產生輝光尖端放電,失去等離子體體。
3、論斷
   磁場輔助PECVD中磁場的產生能夠利用螺線管產生輔助磁場,勻稱纏繞和容易的在兩端增多纏繞均使不得失去勻稱磁場,利用扇形的增多纏繞形式,失去了很好的動機。
   使用ansoft硬件對磁場繼續了模仿劃算,失掉了相反物理條件下的磁場散布法則,為磁場在等離子體體化學氣相沉積中的利用提供了實踐根據。

 

 

 上海萬經泵業制造有限公司 版權所有 |網站地圖
上海萬經泵業制造有限公司 免費熱線:400-6064-114  電話:021-59775595 59775535 59775509 51863849  傳真:021-60911446  
地址:上海市青浦區民興大道358號
網站備案號:滬ICP備09086121號
主站蜘蛛池模板: 国产肉体xxxx裸体137大胆 | 国产男女猛烈无遮挡免费视频网站 | 国产午夜情品乱玛一区二区三区永久老师你懂得电影天天 | 国模裸体无码xxxx视频 | 少妇粉嫩小泬喷水视 | 亚洲日本中文字幕制服 | 国产熟睡乱子伦视 | 91久久国产电影 | 国产成人欧美视频在线观看 | 刺激性A片欧美激情免费 | 成人午夜国产内射主播 | 无码人妻aⅴ一区二区三区蓬泽谣 | 亚洲九九夜夜国产成人精品综合久久 | 午夜精品18的视频国产 | 熟妇无码乱子成 | 国产妇女馒头高清泬20p多 | 五月天少妇手机免播放 | 成人h网站在线观看 | 精品人妻视频一区二区三区 | 亚洲熟妇无码八a | 国产人妻人伦精品无码麻豆 | 大尺度做爰啪啪高潮床戏 | 99精品国产福久久久久久 | 在线观看无码国产精品午夜无码 | 一本久久a久久精品不卡 | 香港三级日本三级韩国三级 | 亚洲成aⅴ人片在线观看 | 精品卡1卡二卡三卡乱码 | 美女视频一区二区三区在线 | 亚洲av最新在线观看网址 | 亚洲av无码无在线观看红杏 | 国产成人午夜福利在线观看麻豆h免费传媒精品 | 欧美激情一区二区三区高清 | 无码国产精品亚洲а∨天堂dvd | 国产精品视频一区二区三区 | 国精品一区二区三区高清不卡在线观看 | 丁香花成人论坛 | 欧美日韩亚洲国产精品 | 亚洲成av人片在线观看无app | 亚洲一区二区三区簧片 | 最近韩国日本免费观看免费 |